스포츠 토토 하는 법 에칭스포츠 토토 하는 법 ™ 시리즈

등방성 에칭의 열쇠로서 시장 기대치를 계속 충족시킵니다

CERTAS ™ 시리즈는 환경 친화적 인 고 처리량 가스 화학 에칭 장치입니다. 높은 에칭 선택성, 균일 성, 잔류 물 제거 및 거칠기 감소를 제공하여 최첨단 장치에 기여합니다.

스포츠 토토 하는 법 Lega ™

CERTAS LEAGA ™는 300mm 웨이퍼와 호환되는 환경 친화적 인 고 처리량 가스 화학 에칭 장치입니다. 완전 건식 공정 장치는 다양한 산화물 에칭을위한 워터 마크가없고 고유 한 선택 비율과 미세한 인터페이스 클린 제어를 특징으로하며 전화 청소 장치와 함께 사용될 때 훨씬 더 큰 유연성을 제공합니다. 반도체 장치가 더욱 소형화되고 복잡 해짐에 따라 점점 더 다양한 프로세스 요구를 충족 시키지만, 우리는 플라즈마가없는 처리를 통해 높은 이용률과 저렴한 비용 처리를 달성했습니다. 동시에 2 개의 웨이퍼를 처리하고 최대 6 개의 프로세스 챔버를로드 할 수있는 Certas Leaga ™는 자유롭게 재조합 가능한 프로세스 장치를 제공하여 훨씬 더 높은 생산성을 추구합니다. 실리콘 접촉 전 표면 세정, 실리콘 산화물 필름 제거 및 에치백, 고위적 3D 구조에 대한 선택적 에칭 처리 및 고화질 홈 치료를 포함하여 대량 생산에서 차세대 개발에 이르기까지 광범위한 응용 분야에 사용될 수 있습니다.

열 산화물 필름 선택성

HCD-SIN SELECTIVE 및 DCS-SIN SELECTIVIID (VS SIO2)

HCD-SIN SELECTIVIID 및 DCS-SIN SELECTIVIITY (VS SIO2)

시리즈 비교

	스포츠 토토 하는 법 Lega ™	에피소드 ™ ul	Tactras ™
웨이퍼 크기 (mm)	300	300	300
가용성	NEW	NEW	NEW
챔버 수	1-6	1-12	1-6
응용 프로그램	유전체, 화학 건조 에칭	유전체, 도체, 반응성 이온 에칭	유전체, 도체, 반응성 이온 에칭
기판	si	si	si
안전	S2, CE	S2, CE	S2, CE