
epitaxial Growth

Probus-Sic ™
75-150mm에 대한 SIC 전력 반도체 제조를위한 SIC 에피 택셜 필름 증착 스포츠 토토 하는 법. 진공 상태에서 고온 제어와 같은 고급 기술이 도입되어 우수한 필름 두께 및 농도 균일 성을 달성했습니다.

하드 마스크

alpha-8se ™ i
배치 타입 열처리 필름 형성 스포츠 토토 하는 법는 200mm 미만의 웨이퍼와 호환됩니다. 스포츠 토토 하는 법의 안정적이고 지속적인 작동을위한 작동성과 기능이 향상되었으며 전 세계 안전 표준을 준수합니다.

Photoresist Coat & 개발

Clean Track ™ Act ™ 8Z
75-200mm 웨이퍼와 호환되는 코팅 및 개발 스포츠 토토 하는 법는 다양한 기판 (SI, GAAS, GAN, SIC, THIN & DICK 등)과 호환 될 수 있습니다. 잔디 코팅을 적용하는 것도 가능합니다.

OX ETCH In-SITU ASH

unity ™ me+ / drm 챔버
플라즈마 에칭 스포츠 토토 하는 법는 100-200mm 웨이퍼와 호환됩니다. 대량 생산 라인에서 높은 비용 성능을 달성하여 우수한 생산성과 높은 신뢰성을 달성합니다.

Sic Trench Etch

unity ™ me+ / ud 챔버
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ALD에 의한 게이트 유전체 형성

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Poly Si

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배치 스프레이 클리닝

Zeta ™+
300/200mm 웨이퍼와 호환되는 완전 자동 배치 스프레이 클리닝 장치. FOUP/SMIF는 최적의 운송 청결 환경을 제공하는 미니 메커니즘이 장착 된 Foup/SMIF와 호환되며 저렴한 반자동 사양도 가능합니다.
Scrubber

NS300+ 200mm 변환
스크러버 청소 스포츠 토토 하는 법 200mm/150mm 웨이퍼와 호환됩니다. 300mm 차세대 스포츠 토토 하는 법를위한 청소 공정 기술이 장착되어있어 높은 신뢰성과 생산성을 달성합니다.