실시간 스포츠 배팅 청소실시간 스포츠 배팅 ™ 시리즈
특수 청소 기술은 미세한 패턴 표면에 대한 낮은 손상 청소를 제공합니다
실시간 스포츠 배팅 ™ 시리즈는 300mm 웨이퍼와 호환되는 단일 웨이퍼 유형의 완전 자동 에어로졸 웨이퍼 청소 장치입니다. 도입 된 가스를 저온 에어로졸으로 바꾸는 우리의 독특한 기술은 장치 표면에서 미세한 입자 만 안정적으로 제거 할 수있게합니다. 전통적인 습식 청소와 다른 완전히 건조한 과정을 제공하여 Cu 또는 저 -K 필름을 손상시키지 않고 결함을 줄입니다. 웨이퍼 처리에 사용되는 다양한 금속 재료의 부식, 워터 마크 형성 및 표면 충전을 억제하고 반도체 장치에서 수율을 개선하고 결함을 제거하는 데 신뢰할 수있는 성능을 제공합니다.
실시간 스포츠 배팅 ™는 독점적 인 저온 에어로졸 기술을 사용하여 입자 오염을 제거하고 수율을 향상시키는 완전 자동 시트 파 청소 장치입니다. 도입 된 가스를 저온 에어로졸으로 바꾸는 우리의 독특한 기술은 표면 반응, 표면 거칠기 또는 에칭 손상을 일으키지 않고 건식 환경에서도 안전한 처리를 수행 할 수있게합니다. 실시간 스포츠 배팅 ™는 백엔드에서 프론트 엔드에 이르기까지 광범위한 응용 분야에 대한 결함 취급 기술을 제공하며 장치 수확량을 개선하는 데 매우 효과적입니다.
시리즈 비교
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| 웨이퍼 크기 (mm) |
300 |
| 가용성 | NEW |
| 배치 당 웨이퍼 | 단일 베팅 |
| 처리량 Lilmit (하드웨어) | 응용 프로그램 종속 |
| 스프레이 방법 | 극저온 에어로졸 |
| 화학 분배 | 화학 및 물이없는 에어로졸 |
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