Tokyo Electron, 승부 식 토토 Kyodo High Na EUV Lab Collaboration 발표
도쿄 전자 (Tel, Minato-Ku, Tokyo, President : Kawai Toshiki)는 네덜란드 Feldhoven의 Feldhoven에서 승부 식 토토 High Na EUV Research Laboratory (이하 "High NA Lab")에서 승부 식 토토 High Na EUV Research Laboratory (이하 "High NA Lab")에 인라인 코팅 개발 장치를 도입 할 것이라고 발표하게 된 것을 기쁘게 생각합니다. NA = 0.55) 2023 년에 운영을 시작할 예정입니다. 승부 식 토토과 협력하여 기술 개발을 발전함으로써 Tel은 추가 소형화에 대한 고객의 요청에 응답 할 것입니다.
높은 NA EUV 노출 장비는 기존의 EUV 노출 장비를 능가하여 더 세련 될 수있는 기술 일 것으로 예상됩니다. Takanashi Lab에서 소개 될 예정인 코팅 및 개발 장비는 이제 널리 사용되며 화학적으로 증폭 된 저항 및 언더 레이어 필름을 지원할뿐만 아니라 코팅 금속 함유 저항과 호환되는 최신 기능도 포함합니다. 코팅 된 금속 함유 저항은 고해상도와 높은 에칭 저항성이 입증되었으며 훨씬 더 미세한 패턴에 대한 저항이 될 것으로 예상됩니다. 반면, 패턴 치수 제어 및 웨이퍼 및 베벨 섹션 뒷면의 금속 오염 제어와 같은 고급 컨트롤이 필요합니다. 오늘날 High NA Lab에 도입 된 장비에는 금속 함유 저항을 지원하는 새로운 프로세스 모듈이 장착되어 이러한 고급 문제를 해결합니다.
새로운 공정 모듈이 장착 된 Tel 코팅 및 개발 장치를 사용함으로써 화학적으로 증폭 된 저항, 금속 함유 저항 및 언더 레이어 필름과 같은 다양한 재료는 하나의 장치로 인라인으로 처리 될 수 있으므로 유연한 패브 운영 및 코팅 및 개발 장치의 장점이 높은 높은 생산성과 높은 운영 속도를 동시에 달성 할 수 있습니다.
또한, 우리는 여러 프로세스를위한 장비 라인업이있는 강점을 활용할 것이며, 파트너는 재료 제조업체에 저항하여 리소그래피 공정 및 에칭 프로세스를위한 코팅 및 개발을 포함하는 포괄적 인 패터닝 솔루션을 실현할 것입니다.
Mitano Yoshinobu 이사이자 SPE 비즈니스 부서 책임자 인 Mitano Yoshinobu의 SPE Business Division의 전무 이사 및 SPE 비즈니스 부서 책임자 인 도쿄 전자 이사는 "Tel은 High-NA Generation의 문제를 신속하게 파악하고 승부 식 토토 및 ASML과 협력하여 반대 모험을 진행할 것입니다.
도쿄 전자 인 Akiyama Keiichi는 "Tel은 현재 EUV 노출 기계에 대한 인라인 코팅 및 개발 장비의 100% 점유율을 가지고 있습니다. 우리는 승부 식 토토 High-NA Lab의 공동 연구를 기대하고 있으며, 향후 고도의 EUV 노출을위한 최상의 코팅 및 개발 장비를 실현하기 위해 최상의 코팅 및 개발 장비를 실현할 수 있습니다.
승부 식 토토의 최고 운영 책임자 겸 부사장 인 Rudi Cartuyvels는 "승부 식 토토와 TEL은 25 년 동안 반도체 스케일링을 발전시키는 혁신적인 솔루션을 개발하는 데 전략적 파트너가되었습니다. 승부 식 토토는 TEL과의 협력을 계속하기 위해 반도체 스케일링로드 맵, 높은 패턴 링의 다음 단계를 실현하기를 기대합니다."
IMEC의 고급 패터닝, 프로세스 및 재료 부사장 인 Steven Scheer는 "Tel과 IMEC 간의 협력은 스핀 온 레지스트를 사용하여 EUV 패터닝의 임계 결함을 식별하고 제거하는 데 중요하며, 대량 생산 배치에 EUV를 도입하는 데 기여하는 데 중요합니다. 도쿄 전자와 승부 식 토토 High Na Lab의 재료 제조업체를 통해 고객에게 높은 NA EUV를 도입하는 것을 가속화합니다. "
*인라인 : 노출 장치와 코팅 및 개발 장치를 통합하는 것을 의미합니다. 노출 및 코팅 및 개발 프로세스를 중앙 집중화함으로써 공간을 절약하고 고객에게 높은 생산성을 달성 할 수 있습니다.
Tokyo Electron Co., Ltd., Ltd. Ltd. 회장 겸 CEO Kawai Toshiki (왼쪽) 및 승부 식 토토 CEO Luc van Den Hove (오른쪽)는 승부 식 토토-ASMS High NA EUV Labs에서 승부 식 토토-ASMS High EUV Labs에서 최신 코팅 개발 장치의 도입과 관련하여 MEMORANDUM (MOMORANDUM)의 원격 서명 식 (MOU)의 원격 서명식
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