스퍼터링 장비 스포츠 토토 분석 ™ -Ex의 지속적인 판매 발표

도쿄 전자 (Tel, Minato-Ku, Tokyo, President : Kawai Toshiki)는 스퍼터링 장치 Lexia ™ -Ex의 출시를 발표하게 된 것을 기쁘게 생각합니다.

스포츠 토토 분석 ™ -Ex는 차세대 메모리 필드에서 경작 된 기술을 상속하고 고급 로직 및 DRAM 및 3D NAND와 같은 광범위한 응용 프로그램에 적합한 고성능 고산화 스퍼터링 장치입니다.

우리는 이전에 본 적이없는 고유 한 스포츠 토토 분석 개념을 가지고있는 Exim ™ 스퍼터링 장치를 출시 한 지 10 년이 지난 후, 우리는 대량 생산 고급 반도체에 기여해 왔습니다. 특히, 차세대 메모리를위한 스퍼터링 프로세스 에서이 회사는 세계적 수준의 스포츠 토토 분석 성능과이를 지원하는 세부 서비스 덕분에 장비의 안정적인 운영으로 인정 받았으며 대량 생산 장치로서 견고한 위치를 확립했습니다.

스포츠 토토 분석 ™ -Ex는 EXIM ™의 특징 인 초고 진공 챔버를 결합하여 필름 두께, 필름 품질 및 필름 구성의 균일 성뿐만 아니라 설치된 모듈 수를 선택할 수있는 높은 생산성 및 장치 확장을 결합합니다. 처리량은 최대 100 wph이며, 이는 이전 모델보다 20% 이상 높습니다. 동시에, 발자국은 이전 모델보다 약 40% 작고 CO₂배출량은 14%감소했습니다. 또한, 필름 증착 챔버의 라인업이 확장되었으며, 이제 기존의 4 개의 음극이 이용 가능하다.^*1챔버 외에 높은 생산성을 달성하는 두 개의 슈퍼 큰 음극이 장착 된 DPVD^*2(Dual Peve Dee) 챔버가 개발되었습니다. 이를 통해 DRAM 커패시터 용 차세대 하드 마스크 및 고급 논리를위한 기능 필름과 같은 단일 층 두꺼운 필름 프로세스에 대한 매우 효율적이고 균일 한 필름 형성이 가능합니다.

도쿄 전자 인 Nakatani Shigeki는 "Lexia ™ -Ex는 높은 생산성과 장치 확장 성을 달성하는 기본 개념을 따르는 동안 높은 환경 성능과 발자국의 상당한 감소를 달성했으며, 고급 논리 및 메모리 애플리케이션을위한 응용 프로그램이 계속해서 고객의 요구에 맞는 스포츠 토토 분석 라인업을 계속 제공 할 것입니다."

*1 음극 : 필름 형성 재료가 부착되는 전극
*2 PVD : 물리 증기 증착

Lexia 및 Exim은 일본 및 기타 국가의 도쿄 전자 그룹의 등록 상표 또는 상표입니다.