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도쿄 전자 (Tel, Minato-Ku, Tokyo, President : Kawai Riki)는 단일 신고 영화 증착 장치 에피소드^TM1 및 에피소드^TM2 스포츠 배팅 사이트 판매 및 에피소드^TM2 스포츠 배팅 사이트의 릴리스 일정을 알려 드리겠습니다.

우리는 단일 플로어 필름 증착 장비 라인업을 확장하여 소형화, 3D 및 다양한 필름 증착 재료에 대한 고객 장치의 요구를 충족시킵니다.
에피소드 1은 최대 8 개의 프로세스 모듈로 설치할 수있는 플랫폼입니다. 고객의 장치가 요구하는 복잡한 프로세스를 충족시키기 위해 여러 프로세스를 지속적으로 처리 할 수 있습니다. 또한,이 장치에는 실리콘의 자연 산화물 필름을 제거하는 모듈 옵트 큐어^TM및 티타늄 증착을위한 Ortas 모듈^TM를 보유하고 있으며, 고급 로직 장치에서 금속 배선의 접촉 저항을 줄일 수 있으며, 접촉 저항을 더욱 줄이기 위해 새로운 재료 필름 증착 공정의 개발을 가속화 할 것입니다.

에피소드 2는 동시에 두 웨이퍼를 운반하는 플랫폼입니다. 이 장치는 높은 생산성과 발자국 절약을 결합하여 고객 공장의 생산성 향상에 기여합니다. 또한 두 가지 개념 프로세스 모듈을 포함 할 계획입니다.
스포츠 배팅 사이트 (Duo Matched Reactor)은 동시에 두 개의 웨이퍼를 입금하고 많은 메모리 장치 제조업체에서 사용하는 모듈입니다.E^{+ tm} Ex-II^TM시리즈에는 추가 3D 장치 및 높은 종횡비*를 지원하는 다양한 새로운 기능이 장착되어 있습니다.
스포츠 배팅 사이트 (Quad Matched Reactor)은 동시에 4 개의 웨이퍼를 퇴적하는 모듈이며, 시장에서 성장할 것으로 예상되는 플라즈마 필름 형성 공정을 지원하는 고유 한 혈장 소스가 장착되어 있습니다.
에피소드 2 스포츠 배팅 사이트이 2026 년 대량 생산을 목표로 발표 할 계획입니다.

에피소드 시리즈에는 이전 모델에서는 찾을 수없는 향상된 장치 데이터 수집 및 에지 정보 처리 시스템이 장착되어 있으며 분석 응용 프로그램을 제공함으로써 장치 작동 속도 및 엔지니어의 작업 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 장비 운영 상태 및 에너지 사용 정보 데이터베이스를 만들어 환경 영향을 줄입니다.

경영자이자 TFF Bugm 인 Nakatani Shigeki는 에피소드 시리즈가 오랫동안 채택되었다고 스포츠 배팅 사이트했습니다.e⁺5771_5825
앞으로 우리는 계속해서 기술을 개발하고 프로세스 모듈을 계속 확장하여 고객의 요구를 충족시킬 것입니다. "

* 종횡비 : 웨이퍼에 형성된 패턴의 깊이 대 폭의 비율