300mm 토토 스포츠 제조 프로세스를위한 토토 스포츠 박사 장치의 진행중인 판매 발표

도쿄 전자 (Tel, Minato-Ku, Tokyo, President : Kawai Toshiki)는 300mm 웨이퍼 제조 공정의 웨이퍼 박사 장치 인 Ulucus ™ G의 판매를 시작하고 있음을 발표하게되어 기쁩니다.

반도체 장치 제조에서 최첨단 패터닝에서 기본 재료 실리콘 토토 스포츠의 평탄도 요구 사항이 더욱 증가하고 있습니다. 또한 전 세계 노동 부족으로 인해 실리콘 토토 스포츠 생산을 처리하기 위해 장비 내에서 지속적인 공정 및 자동화가 필요합니다.

이러한 요구를 충족시키기 위해 ULUCUS ™ G는 자체 연삭 처리 장치를 Lithius Pro ™ Z 플랫폼과 결합하여 코팅 및 개발 장치로서 대량 생산에서 입증 된 실적을 보유하고 있으며 동시에 고품질의 실리콘 토토 스포츠와 대량 생산에서 인력을 줄이는 토토 스포츠 얇게하는 장치입니다.

이 장치는 새로 개발 된 연삭 장치와 스크럽 세정 장치를 결합하여 단일 파 청소 장치 (NS 및 Cellesta ™ 시리즈)와 스핀 습식 에칭 장치로 재배 된 청소 기술을 사용하고 모든 유닛이 단일 파 처리를 거치기 때문에 각 토토 스포츠의 품질 제어를 달성 할 수 있습니다.
또한 검사 장치를 장치에 통합함으로써 각 프로세스에 대한 측정 정보는 장치 내에서 피드백 및 피드 포워드를 제어하여 인간 기술에 의존하지 않고 평평성이 높고 손상이 적고 깨끗한 토토 스포츠 제조를 달성 할 수 있습니다.

도쿄 전자 ATS Bugm Sato Yohei는 "웨이퍼 제조업은 반도체 성능을 더욱 향상시키는 중요한 단계 중 하나이며, 웨이퍼 제조업체의 고정밀 웨이퍼에 대한 수요는 해마다 증가하고 있습니다. 우리가 개발 한 Ulucus ™ G는 분쇄기, 스크럽 세정 유닛, 습한 에칭 유닛 및 검사를 통합하고, 습한 에칭 단위를 통합합니다. 웨이퍼는 또한 노동 절약 솔루션을 허용합니다. 우리는 계속해서 기술을 개발하고 고객의 요구에 기여할 것입니다. "

Ulucus, Lithius Pro 및 Cellesta는 일본 및 기타 국가의 도쿄 전자 그룹의 등록 상표 또는 상표입니다.