최첨단 장치의 혁신에 기여하는 개발 레이저 스트리핑 스포츠 토토 커뮤니티 3D 구현 | 뉴스 룸

도쿄 전자 Kyushu의 개발 팀인 Tokyo Electron의 개발 및 제조 기반 (Tel, Minato-Ku, Tokyo, President : Kawai Toshiki)은 영구 웨이퍼 Juttions를 사용하여 최첨단 장치의 3D 장착에 기술 혁신에 기여하는 레이저 스트리핑 기술을 개발했습니다. 이 기술은 레이저를 사용하여 상단 실리콘 웨이퍼와 두 개의 영구적으로 결합 된 실리콘 웨이퍼의 통합 회로가있는 레이어를 분리하는 새로운 기술입니다.

디지털 소사이어티의 발전으로 반도체가 더욱 개선 될 것으로 예상되며, 차세대 반도체의 소형화를 통한 통합 증가 외에도 영구 웨이퍼 정션 스포츠 토토 커뮤니티을 사용한 3 차원 장착이 도입되고있다. 현재 영구 웨이퍼 결합 공정에서, 2 개의 실리콘 웨이퍼가 영구적으로 결합되고, 상단 실리콘 웨이퍼는 연삭 스포츠 토토 커뮤니티을 사용하여 얇아지고 제거된다. 그러나 반도체 장치가 더욱 적층 될 때, 그라인딩 중 응력, 연삭 후 필름 필링 및 실리콘 웨이퍼의 효과적인 칩 수와 같은 수율이 감소하여 수율이 감소하여 스포츠 토토 커뮤니티 혁신이 필요합니다.

새로 개발 된 레이저 필링 스포츠 토토 커뮤니티은 기존 연삭 스포츠 토토 커뮤니티을 사용하여 얇아지는 대신 상부 실리콘 웨이퍼를 제거 할 수있는 획기적인 스포츠 토토 커뮤니티입니다.

이 스포츠 토토 커뮤니티을 사용함으로써, 레이저 스트리핑이있는 기존의 얇은 공정에서 발생하는 화학 물질을 사용하여 실리콘 웨이퍼의 백 그라인딩, 연마 및 에칭과 같은 여러 프로세스를 대체하여 프로세스를 단순화 할 수 있습니다. 또한 분쇄에 필요한 순수한 물이 더 이상 레이저 가공에 필요하지 않기 때문에, 사용 된 순수한 물의 양은 기존의 방법에 비해 90% 이상 감소 될 수 있으며, 동시에 폐수 부피를 크게 줄여서 환경 영향을 줄일 수 있습니다. 또한, 우리는 현재이 레이저 스트리핑 스포츠 토토 커뮤니티로 분리 된 상부 실리콘 웨이퍼에 적절한 처리를 적용하여 실리콘 웨이퍼를 재사용 할 수있는 스포츠 토토 커뮤니티을 개발하고 있습니다. 이로 인해 웨이퍼 제조 중에 CO₂감소에 기여할 수도 있습니다.

우리 회사는 최상의 제품과 최상의 기술 서비스를 계속 추구 할 것이며 반도체 기술 혁신에 계속 기여할 것입니다. 올해 60 주년을 축하 할 때, 우리는이 이정표를 "새로운 변화의 지점"으로 자리 매김하고, 더 많은 도전과 진화로 꿈의 사회의 발전에 기여할 것입니다.