8.7 세대 평면 패널 표시를위한 플라즈마 토토 사이트 장치 인 PICP ™ EX PLUS 및 APX의 지속적인 판매 발표

도쿄 전자 (Tel, Minato-Ku, Tokyo, President : Kawai Toki)는 8.7 세대입니다^*1고화제 공정을위한 새로운 챔버 PICP EX 플러스가 장착 된 Betelex ™ 2700 PICP ™ EX PLUS는 유리 기판과 호환되는 플라즈마 토토 사이트 장치와 관련하여 판매 할 수 있다고 발표하게 된 것을 기쁘게 생각합니다. 또한 부식^*2억제 프로세스 장치 APX가 현재 판매 중입니다.

8.7 세대 디스플레이 제조, 주로 IT 제품 용 유기농 EL을위한 유기농 EL을위한 고화질, 고 부가가치 및 대규모 디스플레이를 달성하기 위해서는 넓은 유리 영역에 더 높은 균일 성 및 선택성 에칭이 필요하며, 이전보다 넓은 유리 영역에 대한 에칭이 필요하며, 부식 억제 및 입자 대책에 엄격한 제조 제어가 필요합니다.

이러한 시장 요구를 충족시키기 위해 8.7 세대를위한 PICP EX Plus Plasma 모듈을 개발했습니다. 고유 한 PICP 고밀도 혈장 소스의 높은 토토 사이트 성능 외에도 분포 제어 및 온도 제어의 추가 개선을 추구하여 광범위한 장치 구조에 더 많은 적응, 대량 생산 안정성 및 수율을 향상 시키며 달리기 비용을 줄입니다. 또한 새로 개발 된 APX는 자체 고유 한 방법을 통해 높은 부식 억제를 가능하게하는 전용 모듈이며, 수율 향상, 운영 비용 감소 및 탁월한 환경 성능을 통해 고객 생산성을 향상시키는 데 기여합니다.

도쿄 Electron DSS BU는 GM Kiyama Takeo (디스플레이 담당 디스플레이)는 "새로운 디스플레이에 대한 관심이 커지면서 차세대 기술에 대한 시선으로 고객의 요구를 충족시키기 위해 PICP EX PLUS 및 APX를 개발했습니다. 정교한 토토 사이트 성능에 더하여 우리는 고급 대규모 제조업을 달성함으로써 최신 디스플레이를 삭감하는 데 기여할 것입니다."

PICP 및 BETELEX는 일본 및 기타 국가의 도쿄 전자 그룹의 등록 상표 또는 상표입니다.

*1 8.7 세대 : 2290mm x 2620mm 유리 기판 크기
*2 부식 : 알루미늄 에칭 처리 후 알루미늄 부식은 나머지 에칭 가스의 영향으로 인해 발생합니다.