토토 사이트 Plus 2024
이벤트 요약
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이벤트 날짜
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2024.10.03 ~ 2024.10.04
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장소
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Takeda Hall, 토토 사이트 대학 / 온라인
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대상
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장치 엔지니어 프로세스 엔지니어
가장 고급 회의 인 Advanced Metallization Conference 2024 (토토 사이트 Plus 2024)는 10 월 3 일부터 4 일까지 하이브리드 이벤트로 개최됩니다! 올해의 주제는 "지속 가능한 개발을위한 재료에서 VLSI 시스템으로의 상호 연결"입니다.
다양한 장치 응용 분야에서 저항, 높은 통합, 저렴한 비용, 높은 신뢰성 및 3D-IC를 달성하기 위해 상호 연결 기술의 중요성이 증가하고 있습니다. 이 회의는 재료, 프로세스, 장치, 회로 설계, 구현, 장비 및 특성과 관련된 상호 연결 기술에 중점을 둘 것입니다. 업계-아카데미아 정부 연구원과 엔지니어는 기본에서 응용에 이르기까지 광범위한 주제에 대한 포괄적 인 토론을 진행할 것입니다. 도쿄 전자 (TEL)는 세키구치 펠로우의 초청 강의를 포함하여 두 가지 강의를 제공 할 계획입니다! 이 기회를 통해 전문가들과 함께 배우고 반도체 산업을 탐색하며 네트워크를 구축하십시오!

초대 강의
세션 4 : 본회의 세션 -2
10 월 3 일 2:05 p.m. - 오후 2:45
반도체 산업의 최신 기술 동향
Akihisa Sekiguchi, Fellow, Tokyo Electron Ltd.
세션 8 : 신뢰성 및 계측
16 : 00 - 16:20
소스 분자로서 스티렌을 가진 고전력 펄스 스퍼터링 (HPPS) 혈장을 갖는 Si 기판에서 그래 핀의 촉매가없는 직접 성장
Yuto Oishi 1, Masanori Shinohara 2, Fumihiko Maeda 3 및 Takashi Matsumoto 4
1 Fukuoka Univ.
2 Fukuoka Univ.
3 Fukuoka Institute of Technology
4 Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.