Tokyo Electron Limited

77 회 연례 가스 스포츠 사이트 회의 (GEC 2024)

이벤트 요약

이벤트 날짜

2024.09.30 ~ 2024.10.04

장소

샌디에고, 캘리포니아

대상

장치 엔지니어 프로세스 엔지니어

​​77th Gaseous Electronics Conference (GEC 2024)는 9 월 30 일부터 10 월 4 일까지 캘리포니아 샌디에고에서 개최됩니다. APS (American Society of Physics)의 원자, 분자 및 광학 물리학과 (DAMOP)가 주최하는 GEC는 혈장 공급원, 진단, 혈장 화학, 기본 현상 및 원자력 및 분자 과정에 대한 기초 과학 및 기초 과학 기여를 오랜 역사를 제시 한 국제 회의입니다. 최근에는 혈장 생명 공학, 플라즈마 의학, 다상 플라즈마, 환경 적 응용 및 대기압 플라즈마 시스템과 같은 새로운 분야에서 연구 프레젠테이션을위한 장소로 주목을 받았습니다.
플라즈마 에칭 장비를 포함하여 광범위한 제품을 보유한 도쿄 전자 (TEL)는 3 개의 초대 된 강의를 제공 할 것입니다!

스포츠 사이트

초대 강의
세션 ER2 : 플라즈마 에칭 II
11 : 30 am ~ 12 : 00 pm, 2024 년 10 월 3 일 목요일
객실 : 셔터 서쪽 I 및 II
혈장 모델링을위한 반도체 에칭 개발 및 기스포츠 사이트 도전 : 산업 관점
Pingshan Luan, Tel Technology Center, America, LLC


세션 EM2 : 워크숍 II : 데이터 중심 플라즈마 과학
오후 2시 30 분 - 오후 3시, 2024 년 9 월 30 일 월요일
객실 : 그레이트 룸 6-8
기계 학습을 사용한 플라즈마 프로세스 최적화
Tsuyoshi Moriya, 도쿄 스포츠 사이트 기술 솔루션 Ltd.


세션 EM2 : 워크숍 II : 데이터 중심 플라즈마 과학
4 : 00 pm ~ 4 : 30, 2024 년 9 월 30 일 월요일
객실 : 그레이트 룸 6-8
물리 정보 신경 네트워크를 사용하여 가변 E/N으로 볼츠 만 방정식을 해결하기위한 연구
Jinseok Kim1, Kazuki Denpoh1, Satoru Kawaguchi2, Kohki Satoh2, Masaaki Matsukuma1
1, 도쿄 스포츠 사이트 기술 솔루션 Limited
2, Muroran Institute of Technology