장치, 프로세스 엔지니어를 위해 반드시 봐야합니다! 76 번째 연례 가스 전자 회의 (GEC 2023)
이벤트 요약
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이벤트 날짜
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2023.10.09 ~ 2023.10.13
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대상
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장치 엔지니어 프로세스 엔지니어
76 번째 Gaseous Electronics Conference (GEC 2023)는 10 월 9 일부터 10 월 13 일까지 미국 미시간 주 앤아버에서 개최됩니다. GEC는 매년 미국 물리 협회 (APS) 원자 분자 광 물리학 소위원회 (DAMOP)가 개최 한 국제 회의입니다. 참가자들은 전 세계 국가에 참여할 것이며, 기본 연구에서 혈장 물리학의 적용에 이르기까지 활발한 토론이 개최 될 것입니다. 에칭 장비 및 필름 증착 장비를 포함한 광범위한 제품을 보유한 도쿄 전자 (TEL)는 공동 저술 프로젝트 및 초청 강의를 포함하여 세 가지 프레젠테이션을 발표 할 계획입니다!
초대
-세션 GW1.00004, 객실 : 미시간 리그, 헨더슨
높은 종횡비 패턴에 대한 최첨단 플라즈마 에칭 프로세스 및 기술
발표자 :
m. Tomura
도쿄 승부 식 토토 Miyagi
저자 :
m. Tomura, M. Honda, Y. Kihara
도쿄 승부 식 토토 미야기
-세션 FT3.00001, 객실 : 미시간 리그, Koessler
플라즈마 강화 ALD 및 CVD에 대한 현장 진단
발표자 :
j. Zhao, 도쿄 전자 아메리카
저자 :
j. Zhao1, J. Carroll1, P. L Ventzek1, C. Schlechte1, T. H. Yang2, T. Y. Wang2, S. Johnson2, J. G Ekerdt2, G. S Hwang2
1. 도쿄 승부 식 토토 아메리카
2. 오스틴 텍사스 대학교
프레젠테이션
-세션 GW1.00002 : 플라즈마 에칭 II, 룸 : 미시간 리그, 헨더슨
현지 내 표면 분석을 갖는 수소 함유 플루오로 카본 가스를 사용한 극저온 SIO2 에칭을위한 혈장 기반 의사-웨트 메커니즘
발표자 :
S.N. 나고야 대학교 Hsiao
저자 :
S.N. hsiao1, M. Sekine1, T. Tsutsumi1, K. Ishikawa1, M. Iwata2, M. Tomura2, Y. iijima2, T. Gohira2, K. Matsushima2, Y. Ohya2, M. Hori1
1. 나고야 대학교
2. 도쿄 승부 식 토토
