NGL 스포츠 토토 분석 2021
이벤트 요약
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이벤트 날짜
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2021.07.08 ~ 2021.07.09
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장소
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온라인
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대상
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프로세스 엔지니어
차세대 리소그래피 워크숍 2021은 7 월 8 일부터 7 월 9 일까지 온라인으로 개최됩니다. 이 워크숍은 소형화에 중요한 리소그래피 기술과 관련된 장비, 프로세스 및 자료에서 광범위한 분야를 연구하고 논의 할 것입니다. 도쿄 전자 (TEL)는 2 개의 구두 프리젠 테이션과 3 개의 포스터 프레젠테이션을 계획합니다.
Oral-1
PS-B-PMMA DSA 패턴을 사용한 자체 정렬 된 이중 패턴 프로세스
Oral-2
EUV 패터닝 프로세스 개발
Oral-1
m. 무라마츠*1, T. Nishi*1, Y. ido*1, T. kitano*2
1. 스포츠 토토 분석 전자 Kyoshu Ltd.
2. 스포츠 토토 분석 전자 Ltd.
Oral-2
A.Sonoda
Tokyo Electron Ltd.
포스터 -1
레이어에서 최적화 된 EUV 패턴 전송 활성화
포스터 -2
높은 NA EUV 리소그래피에 대한 UV 홍수 노출에 의한 EUV 저항 성능 향상
포스터 -3
코터/개발자 및 에칭 기술을 사용한 EUV 결함 감소 활동
포스터 -1
s. 오카다
스포츠 토토 분석 전자 Kyosyu Ltd.
포스터 -2
d. cong-que
스포츠 토토 분석 전자 Kyoshu Ltd.
포스터 -3
t. Shiozawa
스포츠 토토 분석 전자 Kyoshu Ltd.
