해외 스포츠 사이트 / 해외 스포츠 사이트 China 2021 | 뉴스 룸

이벤트 요약

이벤트 날짜: 2021.03.17 ~ 2021.03.19

장소: 중국 (상하이)

대상: 장치 엔지니어 프로세스 엔지니어 메카 엔지니어 소프트 엔지니어 AI 엔지니어 데이터 과학자/분석 기타

Tokyo Electron (Tel)이 후원하는 해외 스포츠 사이트 China 2021은 3 월 17 일부터 3 월 19 일까지 개최됩니다. 전화 부스 (Hall N1, Booth 1401)는 장비 및 프로세스 기술을 소개합니다. 3 월 17 일, 우리는 또한 최첨단 반도체 장치와 호환되는 초 임계 건조 기술에 대한 강의를 제공 할 예정이며 점점 더 세련되고 다중 계층화되고 있습니다. Tel은 표면 장력을 붕괴로부터 방지하고 패턴이 대량 생산 장치로 붕괴되지 않는 초 임계 유체를 사용하여 건조 기술을 개발했습니다.
해외 스포츠 사이트 China 이전에 개최 될 CSTIC에서 더 많은 기술 강의가 제공되고 있습니다. 우리는 CSTIC에 대해 세 가지 강의를 할 계획이므로 우리와 함께하십시오!

해외 스포츠 사이트 2021
초대
(1) 원자 순서 제어의 혁신적인 미래 에칭 기술
(2) 프로세스 플라즈마에서 정량적 라디칼 종 감지의 도전에 대한 실용적인 솔루션
(3) 원자 정밀도를 가진 장치 제조의 새로운 프론티어

(1)
y. Kihara, T. Katsunuma, S. Kumakura, T. Hisamatsu, T. Niizeki, M. Tomura, M. Honda
도쿄 전자 Miyagi Ltd.

(2)
j. Zhao^*1, P. Ventzek^*1, C. Schlechte^*1, J. Carroll^*1,
t. iwao^*2및 K. Ishibashi^*2
1 Tokyo Electron America, Inc.
2 도쿄 전자 기술 솔루션 Ltd.

(3)
P.L.G. 벤 제크
Tokyo Electron America, Inc.