Tokyo Electron Limited

승부 식 토토/IC-PLANTS2021

이벤트 요약

이벤트 날짜

2021.03.07 ~ 2021.03.11

장소

온라인

대상

프로세스 엔지니어 메카 엔지니어

승부 식 토토/IC-PLANTS2021은 7/7-11에 온라인으로 개최됩니다. ISPLASMA/IC-PLANTS는 현재 혈장 과학의 최신 연구와 질화물 반도체 및 나노 물질에 대한 적용에서 논의되고 있습니다. 또한 환경 문제와 바이오 센싱 기술에 대한 응용 프로그램을 다룹니다. 도쿄 전자 (TEL) 및 공동 작업자는 에칭 장비의 플라즈마 기술과 플라즈마 분석 결과에 대해보고 할 것입니다.

승부 식 토토

AR/O2/C4F8에서 음의 이온 밀도 및 플라즈마 파라미터 측정 LANGMUIR 프로브 보조 레이저 PhotodeChment