스포츠 사이트/스포츠 사이트2020 | 뉴스 룸

이벤트 요약

이벤트 날짜: 2020.06.29 ~ 2020.07.01

장소: Virtual

AVS 스포츠 사이트/ALE 2020은 사실상 6/29에서 7/1까지 개최됩니다. 이 국제 회의는 원자 층 증착 (스포츠 사이트) 및 원자 층 에칭 (ALE)에 중점을 둔 연구를 발표하고 논의 할 것입니다.
Tokyo Electron (Tel)은 초대 된 강의를 포함하여 4 가지 연구 결과를보고 할 계획입니다.

초대 된 대화

미래 나노 전자 공학을 가능하게하는 선택적 및 원자 규모 프로세스

Robert Clark (Tel Technology Center, America, LLC)

구두 프레젠테이션

DI (Isopropylamino) 실란 및 N2 플라즈마를 스포츠 사이트한 실리콘 질화물의 혈장 강화 공간 원자 층 증착

Hisashi Higuchi^*1, Steven Consiglio^*1, hiroyuki suzuki^*1초 Cory Wajda^*1Â Gert Leusink^*1및 David O'Meara^*2
*1 Tel Technology Center, America, LLC
*2 Tokyo Electron America Inc.

포스터 전시회

1. 구조화 된 기판에 대한 원자 층 증착에 의해 성장 된 SINX의 적외선 분광법
2. 펄스 CVD 및 스포츠 사이트를 사용한 저온 열 A- 시시 증착

1. Yuji Otsuki, Yusuke Suzuki, Munehito Kagaya, Kentaro Oshimo, Hiroki Murakami 및 Kenji Ouchi (Tokyo Electron Technology Solutions Limited)
2. Susumu Yamauchi^*1초 후지카와 마코토^*1및 Takahiro Miyahara^*2
*1 도쿄 전자 기술 솔루션 Limited
*2 Tel Technology Center, America, LLC