무료 스포츠 분석 사이트 과정에 관한 국제 심포지엄 (DPS2019)
이벤트 요약
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이벤트 날짜
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2019.11.21 ~ 2019.11.22
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장소
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Hiroshima
41 차 무료 스포츠 분석 사이트 공정 (DPS2019)은 히로시마에서 11/21에서 11/22까지 개최됩니다.
플라즈마 에칭, 혈장 증착, 혈장 진단/모델링 및 플라즈마 표면 변형과 같은 무료 스포츠 분석 사이트 공정이 논의됩니다.
Tokyo Electron (Tel)은 하나의 구두 프리젠 테이션과 2 개의 포스터 프레젠테이션을 계획하고 있습니다.
SIO2 원자 층 패스 라이베이션을 이용한 비정질 탄소 마스크의 신규 한 고지대 비 에칭
Tomohiko Niizeki, M.J. Tomura, Y. Kihara 및 M. Honda (Tokyo Electron Miyagi Ltd.)
제네릭 피처 스케일 시뮬레이터
Paul Moroz (Tel Technology Center, America, LLC)
