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접촉 구멍을 열기 위해 절연 필름에 패터닝 프로세스가 적용됩니다.
CVD 방법을 사용하여 금속 부품을 포함시킵니다. 과도한 필름은 연마에 의해 제거됩니다.
낮은 유도 필름과 같은 인터레이어 절연 필름이 퇴적됩니다. 다음으로 배선이 될 부품 (트렌치)을 열기위한 패턴이 형성됩니다.
트렌치에 금속 필름을 포함시켜 과도한 필름을 연마하고 제거합니다. interrayer 단열 필름 증착 - 필요한 수의 배선 계층에 대해 금속 필름 임베딩/연마 공정이 반복됩니다.
