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산화물 필름이 퇴적되어 층간 절연 필름을 형성합니다. 스핀 코터를 사용하여 CVD 장치 또는 액체 재료를 적용하는 코터를 사용하십시오.
대략 퇴적 된 필름 표면을 연마하고 평평하게합니다.
